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| ※ 제품명 :
X-EYE 시리즈
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X선 검사장치
X-eye SF160 & 3D CT
X-eye 5000B
X-eye 3000
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| ※ 제품 설명 |
반도체
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 반도체,
연구분석용 고성능 Open Tube Type X-Ray 검사기 |
| (Focus:1㎛, 관전압:160㎸) |
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고화질,
고배율의 분석용 X-Ray 검사장비 (최대배율:3,600배) |
자동면적검사
(Void, Solder ball), Auto-Teaching,
Gold Wire 곡율계산 |
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Table
AFT(자동위치보정)기능 구현 |
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탁월한
네비게이션 기능(Dual 비젼카메라 적용) |
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6축
(X, Y, Y-aft, Zt, Rotation, Tilt) 3D검사
기능 구현 |
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완전방호형
Type의 완벽한 3중안전 설계 (0.5u Sv/h or less) |
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3D
CT (option사양) |
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항목 |
160 A Type |
160 B Type |
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X-Ray Tube |
Focus |
1㎛ |
| Tube Voltage |
Max.160㎸ |
| Tube Current |
Max. 0.2㎃ |
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PC |
Monitor |
24inch Wide |
| CPU |
Pentium 2.13G
Dual |
| OS |
Windows XP |
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Others |
Table Size |
510 X 460 mm |
| Foot Print |
1,400(W)
X1,750(D) X1,950(H)mm /2,000kg |
| Axis |
6 Axis |
4 Axis |
| CT Module |
탑재가능 |
| Function |
AFTTM,FQCTM,MSNTM,CFMTM,ASATM,IMSTM |
| Power Supply |
AC220V
±10%.50/60Hz,6kvA |
| Leakage Dose Rate |
1μSv/h |
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항목 |
160 C Type |
160 D Type |
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X-Ray Tube |
Focus |
3㎛ |
| Tube Voltage |
Max.130㎸ |
| Tube Current |
Max.
0.2㎃ |
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PC |
Monitor |
24inch
Wide |
| CPU |
Pentium 2.13G Dual |
| OS |
Windows XP |
|
Others |
Table Size |
510 X
460 mm |
| Foot Print |
1,400(W) X1,750(D) X1,950(H)mm /2,000kg |
| Axis |
4 Axis |
3 Axis |
| CT Module |
탑재가능 |
| Function |
AFTTM,FQCTM,MSNTM,CFMTM,ASATM,IMSTM |
| Power Supply |
AC220V
±10%.50/60Hz,6kvA |
| Leakage Dose Rate |
1μSv/h |
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최적화된
고성능 SMT용 X-Ray 검사장비 |
| (Focus : 5㎛,관전압 : 90㎸) |
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100만화소급의
고해상도 영상처리 구현 |
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적용가능
PCB SIZE 최대화 구현(460㎜ × 340㎜) |
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5축제어
(X, Y, Z, Rotation, Tilt) 기능 구현 |
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BGA,
CSP 전용 자동검사 기능(옵션) |
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Table
ATF (자동위치보정)기능 구현 (옵션) |
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고속,
고효율 검사기능 (Auto-Teaching) |
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업계
최고의 안전성 확보 (표면선량 1μsv/h 이하) |
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 PCB
실장기판 |
자동차용
부품(핸들, 브레이크) |
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BGA,
CSP, Flip Chip 등 |
Al,
Mg, Zn 다이캐스팅 |
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리듐이온
배터리 |
플라스틱
성형품 |
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카메라
모듈,LCD모듈 |
전기,전자
부품 |
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X-eye 5000B |
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X-Ray Tube |
Focus |
5㎛ |
| Tube Voltage |
Max.90㎸ |
| Tube Current |
Max.0.25㎃ |
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PC |
Monitor |
24inch Wide |
| CPU |
Pentium 2.13G Dual
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| OS |
Windows XP |
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Others |
Table Size |
460 X 340 mm |
| Foot Print |
1,250(W)X1,150(D)X1,780(H)mm / 950kg |
| Axis |
3Axis (Unit 2Axis) /
Option 4Axis |
| Function |
MSNTM,CFMTM,ASATM,IMSTM
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| Power Supply |
AC220V
±10%.50/60Hz,4kvA |
| Leakage Dose Rate |
1μSv/h |
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탁상형
SIZE 고성능 X-Ray 검사장비 |
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고성능,
고기능 대비 LOW-COST 실현
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탁상형
X-Ray 검사기 최고의 배율 |
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5축제어
(X, Y, Z) 기능 구현 (옵션 : Rotation, Tilt) |
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전자부품
내부결함 검사 및 BGA,CSP Short 최적검사 |
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연구분석이
가능한 계측 Tool 기본제공 |
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PCB
실장기판 |
AI,Mg,Zn
다이캐스팅 |
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BGA,CSP,Flip
Chip |
플라스틱
성형품 |
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리듐이온
배터리 |
전기,
전자 부품 |
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카메라
모듈, LCD모듈 |
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X-eye 3000 |
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X-Ray Tube |
Focus |
5㎛ |
| Tube Voltage |
Max.90㎸ |
| Tube Current |
Max.0.25㎃ |
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PC |
Monitor |
17inch LCD |
| CPU |
Pentium 2.13G Dual
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| OS |
Windows XP |
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Others |
Table Size |
350 X 270 mm |
| Foot Print |
800(W)X850(D)X1,400(H)mm / 650kg |
| Axis |
3 Axis (unit 1 Axis) |
| Function |
MSNTM,CFMTM |
| Power Supply |
AC220V
±10%.50/60Hz,4kvA |
| Leakage Dose Rate |
1μSv/h |
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| 고속 전자의 흐름을 물질에 충돌시켰을 때 생기는 파장이 짧은
전자기파 (Wavelength : 0.01 ~ 100 Angstorm) |
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1) 파장이 원자 크기
정도로 작아서 결정마다 고유한 회절무늬를 형성
2) 에너지가 크기 때문에 물질에 대한 형광작용이 강하고, 물질을 쉽게 투과할 수 있고,
투과할 때 물질을 이온화시킨다.
3) 특히 투과 시에는 물질의 밀도, 원자에 따라 투과율이 달라져서 이 원리를 이용한 X선 촬영장치는
생체 내부를 촬영하는 의료장비와 일반산업의 비파괴검사장비 등으로 널리 사용
4) X선의 파장이 짧으면 투과율이 커지고 화면이 선명(Brightness)해진다. ;
높은 가속전압일수록 짧은 파장의 X선이 발생
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| 진공관 내에서 음극(Cathode)을 가열시켜 방출된
열전자가 음, 양극 사이에 인가된 높은 전압에 의해 가속되어, 양극(Target)에 충돌. 이때 전자의 운동
에너지가 X선과 열에너지로 변환. |
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X선은 가속된 전자가 어떤
물체에 충돌하여 속도가 급속히 떨어지는 순간에 발생하며 이의 기본 요구 조건은 다음과 같습니다.
첫째 : 전자가 발생될 것
둘째 : 발생된 전자가 고속으로 가속될 것
셋째 : 가속된 전자가 충돌할 표적(target)이 있을 것
즉, X선이 발생하려면, 처음 전자를 발생시킬 수 있는 선원이 있어야 하며 여기서 전자를 발생시킨 후 전자를 가속
시키고 (전자의 에너지는 그 속도에 의해 좌우되므로 고속도의 전자는 에너지가 높고 저속도의 전자는 에너지가 낮아
고속의 전자를 필요로 합니다) 가속된 전자가 충돌할 표적이 없으면 X선을 발생시키기 위한 물질의 상호작용을 할 수
없으므로 표적에 고속의 전자가 충돌하여 표적물질의 원자와 상호작용으로 X선을 발생시킵니다.
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X-ray Tube에서 방출된 X-ray는 Sample을
투과하여 Detector 에서 검출
- Sample 물질의 밀도, 원자번호에 따라 X-Ray의 투과율이 달라지는 원리를 이용
Detector가 입사되는 X-Ray의 강도 차이를 감지
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